应用介绍

【行业】SEMI

【设备】EFEM

【用途】用于半导体前道各种工艺机台的晶圆传输

使用场景

检测cassette内wafer是否有凸出，防止自动取片时发生异常。

场景：cassette内wafer的突出检查

解决课题

应对不同材质wafer的检测需求，例如：Si、SiC、Ga2O3等。

价值提案

核心产品：光纤传感器 E32/E3NX-FA

配备自动调谐、以及APC&DPC自动投光&受光校正，方便快速对应各种透明度的wafer。

相关产品

光纤传感器E32系列

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1532/

智能光纤放大器E3NX-FA

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3161/

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